标谱全自动探针台:自主创新、稳定高效
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2025-06-11 | 9 次浏览 | 分享到:

在半导体测试设备国产化进程中,标谱全自动探针台通过自主可控的技术路径,实现了对正装/倒装LED芯片、CSP LED等多类型器件的高效检测。其核心优势体现在精度突破效率革新系统集成三大维度,成为国产半导体测试设备的代表性解决方案。

一、微米级精度控制系统

亚微米级定位:采用高刚性铸件与精密丝杆导轨组合的XYθ工作台,重复定位精度≤5μm,配合主动下压式探针机构,确保探针与晶圆PAD的精准接触。

智能视觉补偿:自主开发的视觉算法可实时校正芯片偏移,在20针同步测试场景下仍能保持单针接触力一致性,避免因多点压力不均导致的测试误差。

二、高效能测试架构

并行处理能力20针同步测试架构结合多光路数据采集系统,提升测试效率,适配LED芯片量产需求。

柔性兼容设计:支持3x3mil120x120mil全尺寸芯片测试,兼容7寸子母环、6DISCO铁环等治具,覆盖SMD/COB/CSP等封装形态。

三、全栈式自主技术

软件生态闭环:从运动控制、ESD防护到数据采集器均为标谱自研,支持客户定制化测试流程与数据接口协议。

紧凑型集成:整机占地面积缩减50%,内置磁悬浮驱动技术降低高速运转振动,保障设备在连续工作状态下的稳定性。

行业应用前景

随着Mini/Micro LED技术普及,该设备可通过升级温控模块拓展至高频芯片测试领域,其模块化设计也为第三代半导体材料测试预留技术迭代空间。