转塔式蓝膜编带机丨精度高,铸就半导体制造新高度
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2025-07-31 | 27 次浏览 | 分享到:

在半导体制造的精密世界里,精度是衡量设备性能的关键指标。深圳市标谱半导体股份有限公司自主研发的转塔式蓝膜编带机,以其卓越的精度表现,为晶圆芯片的全自动测试、分选、编带树立了新的标杆。

核心技术,保障高精度运行

转塔式蓝膜编带机采用工业电脑 + 运动板卡控制动作,这种先进的控制方式能够精确地控制设备的各个运动部件,确保设备的运行稳定可靠。同时,X轴平台采用日制高精密丝杆导轨,机械刚性强,能够有效减少运动过程中的振动和误差;Y轴采用直线电机模组驱动,具有超高精度的定位精度与长期运行的精度稳定性。这些核心技术的应用,为设备的高精度运行提供了坚实的基础。

CCD视觉定位,实现精准贴装

CCD视觉定位是转塔式蓝膜编带机实现高精度的关键技术之一。在生产过程中,设备通过CCD摄像头实时获取晶片的位置信息,并结合XYθ位置进行快速补偿。这种视觉定位方式能够准确地识别晶片的位置和姿态,即使晶片在蓝膜盘上的位置存在一定的偏差,设备也能够自动调整,确保晶片能够精准地贴装到指定的位置。在实际应用中,XY重复定位精度 ≤5um,大大提高了晶片的贴装精度。

多工位设计,提升生产效率与精度

转塔机构采用DD马达驱动,12工位Torlon4203/橡胶吸嘴的设计,使得设备能够在高速运行的同时保证高精度。多个工位可以同时进行不同的操作,如取片、测试、分选、编带等,大大提高了生产效率。而且,每个工位的操作都能够独立控制,确保了每个晶片都能够得到精确的处理,进一步提升了生产的精度。

深圳市标谱半导体股份有限公司的转塔式蓝膜编带机以其高精度的核心技术、CCD视觉定位技术和多工位设计,为半导体制造企业提供了一种高精度、高效率的生产设备。在追求高品质半导体的今天,它将成为企业提升竞争力的有力武器。