随着LED技术向微型化发展，芯片尺寸不断缩小，对测试设备的精度提出了更高要求。深圳市标谱半导体股份有限公司的全自动探针台，专门针对微型LED芯片的测试需求进行了优化，通过超高精度运动控制和先进的视觉系统，实现了对微小芯片的精准测试，为微型LED的发展提供了有力的技术支持。

微小芯片的精密测试

全自动探针台能够测试的最小芯片尺寸达3×3mil，这一能力使其成为微型LED测试的理想选择。设备XY轴重复定位精度≤5μm，定位精度≤10μm/200mm，θ轴旋转角度±19°，XY垂直度10μm，这些精密参数确保了微小芯片测试的准确性。

工作盘平面度控制在中心五寸≤12μm、外圈≤15μm，为微型芯片测试提供了超平的基准面。Z轴6mm行程配合±3.5mm可调三维座，能够精确控制探针与芯片的接触力度，避免损伤微小结构。2组主动式探边针座设计提高了测试的稳定性，特别适合微小芯片的精密测试。

先进的视觉定位系统

探针台配备了高分辨率视觉系统，能够清晰识别微小芯片的特征。自主开发的视觉算法优化了对微型结构的识别能力，确保了对3×3mil等微小芯片的准确定位。视觉系统与高精度运动控制协同工作，实现了探针与测试点的精准对位。

设备支持4寸1.2倍扩膜工作尺寸，X/Y工作行程分别为210mm和440mm，能够适应微型LED晶圆的测试需求。多种承片治具可选，包括针对小尺寸晶圆优化的4寸特规小铁环，为微型LED测试提供了便利。

灵活的测试配置

探针数量可根据测试需求选择2、4、8、16或20针配置，为不同规模的微型LED测试提供了灵活性。少量探针配置适合研发和小批量测试，而多探针配置则能满足量产需求。这种灵活的配置方式使设备能够适应从研发到量产的不同阶段。

测试软件系统针对微型LED特性进行了专门优化，能够精确捕捉微小芯片的光电性能参数。系统提供丰富的测试模式选择，可满足不同测试标准和研发需求。数据管理功能完善，便于对微小芯片性能进行深入分析。

标谱半导体全自动探针台凭借其出色的微小芯片测试能力，为微型LED技术的发展提供了重要支持。设备不仅能够满足当前微型LED的测试需求，其精密的机械结构和强大的软件系统也为未来更小尺寸芯片的测试预留了空间。对于致力于微型LED研发和生产的企业与机构而言，这款全自动探针台将成为其技术发展道路上的重要伙伴。