
在半导体制造领域,晶圆芯片的全自动测试、分选与编带是至关重要的环节,直接影响着产品的质量和生产效率。深圳市标谱半导体股份有限公司自主研发的转塔式蓝膜编带机,凭借其独特优势,成为该领域的得力助手。
无损上料,呵护芯片安全
蓝膜盘无损上料是标谱转塔式蓝膜编带机的一大显著优点。在芯片处理过程中,上料环节的稳定性与安全性至关重要。传统上料方式可能会对蓝膜盘造成一定程度的损伤,进而影响芯片的质量。而标谱的这款编带机采用先进的无损上料技术,能够轻柔、精准地将蓝膜盘放置到指定位置,避免了因上料不当导致的芯片损坏问题,为芯片的后续处理提供了可靠保障,确保每一片芯片都能以最佳状态进入测试、分选和编带流程。
精准定位,铸就卓越品质
精度是衡量编带机性能的关键指标之一。标谱转塔式蓝膜编带机在这方面表现卓越,其 XY 重复定位精度 ≤5um。如此高的精度得益于先进的 CCD 视觉定位系统,该系统能够快速、准确地捕捉芯片的位置信息,并结合 XYθ 位置进行快速补偿。在高速运行过程中,依然能够确保每一个芯片都能精准地贴装在指定位置,有效提升了晶片的贴装精度,大大降低了因定位不准确而产生的次品率,为生产出高质量的晶圆芯片产品奠定了坚实基础。
高速高效,满足多元需求
为了实现高速编带需求,标谱转塔式蓝膜编带机在转塔机构设计上独具匠心。采用 DD 马达驱动,搭配 12 工位 Torlon4203/橡胶吸嘴,这种组合使得编带过程更加流畅、高效。吸嘴采用旋拧固定方式,便于快速更换不同型号产品,极大地提高了设备的兼容性,能够适应多种不同规格晶圆芯片的处理需求。同时,设备功能丰富,标准配置包含自动上下料组件、XYθ 平台组件、WF 视觉组件等一系列先进组件,各组件协同工作,进一步提升了整体生产效率,满足了现代化大规模生产的要求。