
标谱全自动探针台的产品定位
深圳市标谱半导体股份有限公司自主研发的全自动探针台,是一款专门针对正装LED芯片、倒装LED芯片以及CSP LED等芯片进行光学及电性测试的专用设备。该设备集成了高精度运控系统、视觉定位系统以及光电测试系统,能够在高速运转状态下完成对被测晶粒的精密定位与数据采集,满足半导体封装测试环节中对芯片品质检测的实际需求。
高精度运控与视觉定位系统
全自动探针台搭载了高精度XYθ工作台及视觉组件,XY重复定位精度可达≤5μm。这一精度水平使得设备在面对微小尺寸芯片时依然能够实现准确对位,确保探针与芯片电极之间的接触可靠性。视觉系统与运动控制系统协同工作,在测试过程中实时完成晶粒的识别与定位,为后续的探针下压和数据采集提供精确的坐标信息。
广泛的芯片尺寸兼容能力
该设备在芯片尺寸兼容方面表现出较强的适应性,可测试的芯片尺寸范围从3×3mil到120×120mil。无论是微小型的CSP LED芯片,还是较大尺寸的正装及倒装LED芯片,均可在同一台设备上完成测试。承片治具方面,设备支持7寸子母环、4寸特规小铁环以及6寸DISCO铁环等多种规格,进一步扩展了设备在不同产线环境中的适用范围。
多针同步测试与高集成化设计
全自动探针台最多支持20针同步测试,能够在单次测试周期内同时获取多个晶粒的电性数据与光学数据,提升整体测试效率。设备采用标谱自主开发的运动控制软件、视觉算法及光电测试软件集成系统,配合高精度测试仪器,实现了整机的高集成化布局。内置一体式自动上下料设计使得设备体积紧凑,不需要额外占用场地,适合空间有限的生产车间部署。
自主研发的软件与测试系统
标谱全自动探针台的核心软件与测试系统均为自主研发,包括运动控制程序、视觉识别算法以及光电测试程序。这一设计使得设备在运行过程中具备较高的稳定性,各模块之间的协调配合更加顺畅。测试系统能够对每个晶粒逐一进行电气特性检测和光学参数检测,采集到的数据可用于后续的芯片分选与品质判定。