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标谱全自动探针台采用了高集成化的整机布局方案,将运动控制系统、视觉系统、光电测试系统、上下料机构以及高精度测试仪器整合在同一台设备中。各系统模块通过标谱自主开发的软件进行统一调度和数据交互,形成了一套完整的芯片测试技术方案。
全自动探针台的运动控制系统与视觉系统是实现精密定位的两大核心。视觉系统负责芯片的识别与坐标计算,运动控制系统负责驱动XYθ工作台完成精确移动。两个系统通过标谱自主研发的软件实现实时数据交互,视觉系统将识别结果传递给运动控制系统,运动控制系统根据坐标信息驱动工作台到达目标位置。XY重复定位精度≤5μm的指标正是两个系统协同工作的结果。
光电测试系统是标谱全自动探针台完成芯片品质检测的执行模块。该系统控制探针主动下压点亮芯片,并通过高精度测试仪器同步采集电性数据与光学数据。测试系统对每个晶粒逐一进行电气特性检测和光学参数检测,采集到的数据经过标谱自主开发的测试软件处理后,可用于芯片的分选与品质判定。
标谱全自动探针台搭载了高精度测试仪器,用于执行电性和光学参数的精确测量。测试仪器与设备的运动控制系统和视觉系统通过集成化的软件平台进行连接,测量数据实时传输至测试软件中进行记录和分析。高精度测试仪器的配置确保了设备在面对3×3mil至120×120mil不同尺寸芯片时,均能获取准确的测试数据。
标谱全自动探针台的整机技术方案在设计上注重稳定性与效率的平衡。自主研发的软件系统使得各模块之间的协调配合更加顺畅,高集成化布局减少了外部连接和信号传输环节,降低了系统故障的发生概率。内置一体式自动上下料设计进一步简化了操作流程,使得设备在实际产线中能够稳定、高效地运行,为正装LED芯片、倒装LED芯片以及CSP LED等芯片的光学及电性测试提供了完整的技术方案。
正倒装一体探针台
探针台
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