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探针台的定位结构——视觉引导与精密运动平台的协同逻辑
芯片级测试设备的核心能力,首先取决于“找得准”。标谱全自动探针台在定位结构上采用了“扫描相机全局定位+观察相机局部对准”的双视觉协同方案。
扫描相机负责对承片台上的芯片进行整体扫描,逐一记录每颗芯片的空间坐标;观察相机则聚焦于探针与芯片引脚的局部对准,确保下针位置精确无误。两套视觉系统分工明确——前者管“在哪里”,后者管“对不对”。配合高精度XYθ工作台的三轴运动,
设备在高速运转中仍能实现微米级的定位精度。
在取放料结构上,设备采用一体式内置自动上下料设计,料盒升降组件与抓手组件协同完成载环的自动替换,全程无需人工干预。整机结构紧凑,不额外占用场地,体现了功能集成与空间优化的兼顾。
LED晶圆芯片探针台
探针台
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