十二工位转塔与多功能编带结构——晶圆芯片的编带封装
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2026-06-26 | 1953 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ | 分享到:

十二工位转塔与多功能编带结构——晶圆芯片的编带封装


  转塔式蓝膜编带机的传输与编带结构以12工位主转盘为核心,配合多功能编带组件构成完整的芯片编带封装产线。主转盘采用DD马达直接驱动,盘面上均匀分布12个工位,每个工位安装有Torlon4203或橡胶材质的吸嘴——Torlon4203是一种高性能工程塑料,具有优异的耐磨性与尺寸稳定性,适合高速往复运动工况下的长期使用,其热膨胀系数较低,在环境温度波动时仍能保持吸嘴端面的位置精度,确保了取晶和放晶动作的长期一致性;橡胶吸嘴则对芯片表面提供更柔和的接触力,适合表面敏感性较高的芯片类型,避免了硬接触对芯片表面电路或钝化层的损伤。12工位的配置意味着主转盘每旋转一周可完成12颗芯片的取晶、测试、校正、编带全流程,在高速运行条件下仍能保持较高的产出效率。


  吸嘴采用旋拧固定方式,操作人员无需借助工具即可快速完成吸嘴的更换,这一设计使设备在不同型号产品切换时的停机时间大幅缩短,提升了设备的使用灵活性。旋拧结构内部设有定位销,确保吸嘴更换后的角度一致性,避免因安装偏差导致的取晶位置偏移,保障了换型后的快速复产能力。主转盘承载芯片依次经过取晶工位、夹持旋转校正组件#1、电性测试组件、夹持旋转校正组件#2、底部视觉组件等工位,最后到达编带工位。夹持旋转校正组件通过精密夹爪对芯片在吸嘴上的姿态进行检测和修正,确保每颗芯片在进入编带工位时具有一致的取向,避免了因芯片角度偏差导致的载带内芯片方向不一致。


  多功能编带组件是该设备实现编带输出的关键结构。该组件连续不断地将芯片放入载带凹槽,通过编带前影像检查相应指标后,进行盖膜热封。编带组件配备双轮支持倒带功能——在检测到封装异常时可自动倒带补料,将异常位置的载带退回并重新植入芯片,倒带精度由编码器闭环控制,确保退回和重新前进的载带步距精确一致,避免了因倒带步距偏差导致的补料位置偏移。收带盘采用力控驱动,可根据卷盘直径的变化自动调节收带扭矩,保持恒定的收带张力。载带长度支持自定义设定,用户可根据后端工艺需求自由设定每盘载带的封装长度。