全自动探针台——自主研发ESD+力值检测，保障LED芯片测试精准可靠

  探针台作为芯片电性测试的核心设备，其测试精度与可靠性直接关系到芯片的分选质量与良率。标谱全自动探针台在自主研发的运动控制、视觉算法及光电测试软件系统基础上，特别配置了ESD防护与力值检测系统，为

LED芯片的测试过程提供了更为全面的保障。

  设备采用高精度XYθ工作台与视觉组件配合，实现被测芯片的精确定位。观察相机将探针与芯片引脚精确对准，扫描相机对芯片逐一扫描并精确定位，确保每个晶粒在测试时均处于最佳位置。探针组通过主动下压点亮芯

片，采集电性数据与光学数据。在这一过程中，探针与芯片的接触力控制至关重要——力值检测系统能够准确采集压力值，确保每根探针的接触力一致，避免因压力过大损伤芯片或因压力过小导致接触不良。

  在ESD防护方面，设备搭载了自主研发的ESD测试系统，包括ESD继电器盒、ESD高压盒与控制盒，能够有效抑制测试过程中产生的静电放电，保护芯片免受静电损伤。这对于高灵敏度LED芯片尤为重要——静电损伤可能

导致芯片性能退化或早期失效，而可靠的ESD防护则大幅提升了测试过程的安全性。

  软件系统为标谱全自主研发，集成运动控制、视觉定位与光电测试于一体。系统具有清针、磨针、吹针等探针维护功能，可定期对探针进行清洁与修整，延长探针使用寿命，保持测试精度的一致性。测试数据自动存档，

错误信息记录完整，便于品质追溯与工艺优化。设备兼容正装、倒装LED芯片及CSP LED，承片治具支持多种规格铁环，测试范围覆盖主流芯片尺寸。全自动上下料模块内置一体式设计，节省空间。标谱全自动探针台以ESD

防护、力值检测与自主研发软件系统的组合优势，为LED芯片测试提供了兼具精准性与可靠性的自动化平台。