转塔式蓝膜编带机——蓝膜无损取料+高精度视觉定位,晶圆芯片编带的高端之选
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2026-07-14 | 67 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ | 分享到:

转塔式蓝膜编带机——蓝膜无损取料+高精度视觉定位,晶圆芯片编带的高端之选


  晶圆级芯片的编带包装,与常规封装元件的编带有着本质区别——芯片以蓝膜为承载基材,取料时既要保证芯片从蓝膜上顺利剥离,又要避免对芯片结构造成损伤。标谱转塔式蓝膜编带机正是针对这一工艺场景而研发的专业

设备,集成了蓝膜盘上料、高精度视觉定位、转塔传料与编带包装的全流程自动化。


  蓝膜上料与取料环节是设备最具技术含量的部分。蓝膜圆盘承载着晶圆芯片进入设备后,顶针机构从蓝膜下方将芯片平稳顶起,配合真空吸附系统将芯片从蓝膜表面剥离并吸附至转塔吸嘴。整个过程中,蓝膜受到可控的扩张

力以减小芯片间距,顶针顶出力与真空吸力协同配合,确保芯片在剥离瞬间受力均匀,避免了传统机械撬取方式对芯片边缘的损伤。蓝膜圆盘组件配置灵活,可适配不同尺寸的蓝膜规格。


  高精度的视觉定位体系为贴装与编带的准确性提供了核心保障。蓝膜影像组件采用CCD视觉定位技术,对蓝膜上待取芯片的位置进行精确识别与坐标计算;XYθ工作平台根据视觉定位结果进行快速补偿,将待取芯片精准移动至

顶针机构的正上方。转塔机构由DD马达驱动,搭载多个高性能吸嘴工位,吸嘴采用优质材料制造并经特殊表面处理,既保证了吸附可靠性也避免了对芯片表面的划伤。吸嘴采用旋拧固定方式,便于快速更换以适应不同型号产品。

芯片被吸取后依次经过夹持旋转校正组件、底部视觉组件、电性测试组件等功能站点,最终进入编带组件。编带环节集成了倒带补料、前影像检测与封合影像检测等功能,确保进入载带的每一颗芯片都经过了全面的品质确认。整

机精度表现优异,为晶圆芯片的编带包装提供了高端级别的自动化解决方案。


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