全自动探针台——≤5um重复定位精度+正倒装兼容
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2026-08-06 | 17 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ | 分享到:

全自动探针台——≤5um重复定位精度+正倒装兼容


  LED芯片测试是一项系统工程,不仅需要精密的机械平台,更依赖稳定高效的软件算法和测试系统。探针台的定位精度直接影响测试数据的可靠性,而软件系统的稳定性则决定了整机的长期运行表现。


  标谱全自动探针台以全自主研发的运控、视觉、光电测试软件为核心,打造了一套软硬协同的完整技术生态。设备兼容正装与倒装LED芯片,覆盖多种芯片尺寸范围。承片治具适配多种规格铁环,灵活应对不同晶圆载片。

高精度XYθ工作台与精密视觉组件协同工作——扫描相机对芯片进行全局定位,观察相机将探针与焊盘精准对准,确保每次下针位置准确无误。探针主动下压点亮芯片,实时采集电性参数与光学数据,配合高精度测试仪器

完成对每颗晶粒的全面检测。


  标谱自主研发了整套软件和测试系统。运动控制软件实现精密轨迹规划与实时补偿,视觉算法保证定位鲁棒性,光电测试软件则灵活配置测试项与判定标准。自主研发的ESD防护系统从硬件到软件全面管控静电风险,力

值检测系统实时监控探针压力,亮度采集与光源控制系统确保光学测试一致性。所有子系统深度集成,保证了整机的高效协同与长期稳定性。


  在自动化方面,设备内置一体式上下料模块,料盒自动推入推出,抓手配备在位检测,全程防撞保护,无需额外占用场地。操作界面友好,测试数据自动存档,支持自定义功能扩展。软件系统具有清针、磨针、吹针功能,

有效维护探针状态。


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