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全自动探针台:自研测试系统+ESD±4KV,芯片点测的核心指标自己掌控
点测设备比拼到深处,拼的不是机架和丝杆,而是测试系统本身:测试仪的精度、ESD的能力、软件的柔性,决定了设备能走多远。标谱全自动探针台在机械精度之外,把测试链路上的关键环节全部握在自己手里。
软件层面,运控、视觉、光电测试三大系统全自主研发,支持抽测、全测、多芯测试、多芯隔行测试、内外圈测试、区域重测、NG重测等多种模式,扫描判别率大于99.95%,产品档案与校正档案独立管理、自动加载,还可按客户需求定制开发。
测试仪同样自研:输出精度达3‰,通道差控制在0.005~0.008,支持1到10通道切换与多通道并行测试,支持2/4线制采集、恒流限压、恒压限流,满足VF、IR、VZ、IF、VFD、LOP等项目的检测需求。力值采集精度高达±0.1%,亮度板采集精度±0.5%,配合12档位自动切换的积分球收光架构,光学与电性数据都有高置信度。
ESD能力是另一块硬招牌:自研ESD系统人体模式(HBM)最高支持±4KV、机械模式(MM)最高±800V,单次放电时间最短10ms,探针端放电波形满足国标五大标准,最多支持10通道同时或独立放电,并带过流报警。
配合XY重复定位精度≤5μm的XYθ工作台与最多20针同步测试能力,从定位、压接到数据采集,整条点测链路都在自有技术体系内——核心指标自己掌控,升级迭代不用等别人。
正倒装一体探针台
探针台
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