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转塔式蓝膜编带机:直线电机Y轴+CCD视觉补偿,晶片贴装精度再进阶
晶片贴装精度,是蓝膜编带设备的立身之本——精度每上一个台阶,微小晶片的取放良率与编带质量就多一分保障。转塔式蓝膜编带机的精度,来自一套讲究的运动系统设计。
先看平台:X轴平台采用日制高精密丝杆导轨,机械刚性强、使用寿命长;Y轴采用直线电机模组驱动,定位精度与长期运行的稳定性都更进一步。整机XY重复定位精度≤5μm,X/Y垂直度≤8μm@150mm,吸嘴定位精度达≤5 arc-sec。再看视觉:CCD视觉定位结合XYθ位置快速补偿,配合蓝膜影像组件,晶片位置偏差在贴装前即被修正,贴装精度有效提升。
转塔部分同样不含糊:进口DD马达驱动12工位主转盘,吸嘴采用Torlon4203/橡胶材质,兼顾高精度、高速度与高稳定;旋拧固定方式让不同型号产品的更换快捷方便,兼容多种产品家族。蓝膜盘无损上料支持6寸及8寸蓝膜圆盘,取晶范围达Φ200mm;顶针机构真空吸附加顶针推出,晶片平稳转入下一工位。
编带端功能完整:连续放料入载带,编带视觉检查后盖膜热封、卷入收带盘,支持双轮倒带补料、收带盘力控与载带长度自定义,封带采用反复热压方式,适用8~12mm宽载带。对3.5×3.5mm产品,产能不低于15K UPH。
从直线电机到CCD补偿,从无损上料到精密热封——贴装精度的每一分进阶,最终都会体现在晶圆芯片的出厂良率上。
正倒装一体探针台
探针台
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