转塔式测试分选机在光电传感器芯片分选中的应用实践
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2026-09-25 | 20 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:
光电传感器芯片的光电参数离散度大,出厂前必须逐颗测试分选。本文以转塔式测试分选机为核心,讲解PD光电二极管等光敏器件的测试项目配置、多站并行节拍设计与Bin分选策略,分享实际量产中的提效经验。

光电传感器芯片广泛应用于光控开关、红外接收、环境光检测等场景,其暗电流、光电流、响应度等参数直接决定终端灵敏度。与普通二极管不同,光敏器件还必须遮光测试与标准光源点亮测试结合,这对测试分选设备提出了双工位要求。转塔式测试分选机正是解决这一难题的成熟方案。

测试项目配置:暗态与亮态双场景

在暗态站,设备测试器件的暗电流与正向压降,筛除漏电异常品;在亮态站,标准光源以规定照度照射器件,测试光电流与响应度,并按亮度区间分Bin。两个测试站布置在转塔不同角度,机械手在同一节拍内完成取放,互不等待。对于带聚光结构的PD芯片,还可增加光轴偏移检测项目,避免装配后灵敏度方向性漂移。

转塔节拍规划:多吸嘴并行提效

转塔式结构的核心优势是动作并行化。以18吸嘴转塔为例,上料、电测、光测、Bin分选各工位同步运转,单颗器件的分选节拍可压缩至传统龙门式的几分之一。实际量产中,45K每小时以上的分选速度配合多Bin收集盒,让传感器封装厂在订单高峰期也能按时交付。设备还支持按封装形式快速切换吸嘴与测试治具,适配TO、贴片等多形态光敏器件。

Bin分选策略:按应用场景定档

不同应用对参数容忍度不同:环境光检测用PD可以放宽暗电流指标,而医疗脉搏传感则要求光电流高度一致。建议工艺团队与下游客户联合定义Bin表,把高一致性Bin留给高端应用,普通Bin供应通用市场,最大化产出价值。分选数据通过MES上传后,还可统计各晶圆批次的光电参数分布,反哺前道工艺改进。

深圳市标谱半导体股份有限公司的转塔式测试分选机系列兼容多封装芯片测试分选编带一体作业,自研测试系统参数可灵活配置,营销热线 0755-23307599 / 13510864359,官网 www.szbiaopu.cn,邮箱 marketing@szbiaopu.cn,欢迎来厂打样验证。

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