全自动探针台：亮度采集精度±0.5%+12档积分球自动切换，光电数据测得细

芯片点测的数据质量，取决于采集链路上每一环的精度。全自动探针台在这方面把"细"做到了系统级：自研亮度采集系统精度高达±0.5%，力值检测系统采集精度高达±0.1%，光源控制系统输出精度高达±1%，配4通道光源电源、单通道最大2A恒流控制，光、力、电三条采集链路全部自主可控，测试数据的可比性有了基础保障。

收光架构是另一处关键设计：积分球采用直接收光架构，测试精度高，配备12个档位可自动切换档位盘，操作简单——不同亮度级别的芯片不必手动换挡，切换动作由设备完成，节拍更紧凑，也避免了人为设定带来的偏差。

测试流程全自动流转：手动或AGV放入料盒后，设备自动上片、自动校正、自动扫描、自动测试、自动输出数据、自动退片回料盒，并抓取新片重复流程，直到料盒内片数全部点测完成。工作台为高精度XYθ结构，XY重复定位精度≤5μm，X轴行程210mm、Y轴行程440mm、θ轴±19°，铸件搭配进口高精密丝杆导轨，机械刚性强、精度稳定；观察相机600万像素、支持0.7至4.5倍率切换，扫描相机500万像素，探针与芯片引脚对准、逐颗扫描定位。

软件层面支持抽测、全测、多芯测试、多芯隔行测试、内外圈测试、区域重测、NG重测等多种模式，实时Map图可自定义显示项目，芯片NG分Bin重测；整体校正、多通道校正、随波校正功能齐全，支持稼动率、针耗、换针等报表统计，扫描判别率>99.95%。从数据采集精度到测试模式灵活度，这台设备给芯片光电测试留足了可挖掘的空间。