MIP排片机：焊盘缺陷视觉把关+晶圆环自动换料，MiP贴wafer又快又护料

MiP sensor的点测分选工艺里，有一道靠人工很难做好的工序：把测试合格的MiP芯片一颗颗贴装到wafer上。手工贴胶效率低、搬运磕碰多、不良风险高，而晶圆又是整条产线里单价最高的载体。深圳标谱半导体的MIP排片机，就是为这道工序的自动化而生的。

设备的流程设计处处体现“护料”：散装材料经振动盘排列上料，先由视觉系统判别方向并做旋转校正，再进入电性测试，NG品直接排料不进入贴装环节；贴装前还有一道底部视觉检测，专门检查材料的焊盘缺陷——带着焊盘问题上wafer的芯片，在这里就被拦下了。取料由吸嘴真空吸附完成，动作轻柔，对外观与焊盘的二次损伤降到很低。

贴装质量有硬件支撑：转塔由进口DD马达和专用伺服驱动器及控制器驱动，配合专用软件，贴装精度达XY±0.03mm，运行速度不低于40K/H，设备良率不低于99.5%。电性测试对正向电压与反向电压都有把关，测试数据落在±0.03V与±0.5V的精度范围内。

自动化程度体现在换料与供料上：料盒适配6寸外方内圆铁环，可搭配25层提篮使用；晶圆环支持自动换料，避免频繁人工操作；上料机构配置离子风扇与自动加料装置，具备上下面尺寸与外观检测功能，检测到不良即行排除。贴装范围支持方形80mm×80mm与圆形φ100mm，覆盖常见的wafer规格。

对MiP产线而言，这台设备解决的是三个老问题：人工贴胶的效率瓶颈、搬运过程中的外观风险、以及晶圆利用率的不稳定。MIP排片机把排片交给设备、把判断交给视觉，让高价值的wafer只接收经过完整检测的芯片。