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转塔式蓝膜编带机:蓝膜扩模5/6/8寸可选+吸嘴快换,晶圆编带换型不停线
晶圆编带的换型成本,往往不在设备本身,而在换型之后的调机时间:换一种晶圆盘要重新对位,换一种芯片要换吸嘴,一卷载带长度不合又要重新裁。换型越顺,设备在产线上留得越久。
转塔式蓝膜编带机由标谱自主研发,适用于晶圆芯片的全自动测试、分选、编带。设备采用工业电脑加运动板卡控制动作,运行稳定可靠;采用CCD视觉定位,结合XYθ位置快速补偿,精度高;转塔机构由DD马达驱动,配12工位Torlon4203或橡胶吸嘴,支撑高速编带需求。标准配置覆盖自动上下料组件、XYθ平台组件、WF视觉组件、顶针组件、12工位主转盘、夹持旋转校正组件、底部视觉组件、NG料盒组件、电性测试组件与编带组件,配置本身比较完整。
换型适配是这台设备的突出之处。蓝膜圆盘扩模组件提供5寸、6寸、8寸可选配,可对应非标6寸蓝膜圆盘、6寸蓝膜盘与8寸蓝膜圆盘,取晶范围最大直径200mm,客户手上不同规格的晶圆盘基本都能对上;吸嘴采用旋拧固定方式,更换不同型号产品时操作快捷,不必等厂家上门调整;编带机构支持编带热封、视觉检查、双轮倒带、收带盘力控与载带长度自定义,NG由溢料盒单独收集。
精度指标也交代得清楚:XYθ重复定位精度不超过5um,吸嘴定位精度不超过5角秒,X、Y垂直度不超过8um@150mm,X、Y、Z重复定位精度均不超过5um;Wafer工作行程X轴220mm、Y轴310mm,弹夹可实现-180°至180°旋转;对3.5×3.5mm产品产能不低于15K。顶针机构配置真空吸附加顶针推出,便于晶片被平稳吸取到下一个工位。适用载带宽度8mm至12mm,封带采用反复热压式。
从蓝膜盘规格到吸嘴型号,再到载带长度与补料方式,这台设备把换型时需要动的东西都预留成了可更换件。整机功率3kVA、重量1000Kg、外形1200×1250×1800mm,一台机器对应多类晶圆产品,是多品种晶圆编带线的实用选择。
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