
转塔式蓝膜编带机的运行步骤通常包括以下几个关键阶段,这些阶段旨在确保设备能够高效、准确地完成晶圆芯片的全自动测试、分选和编带任务。以下是详细的运行步骤:
1. 设备准备与初始化
检查设备状态:确保设备各部件完好无损,无松动或损坏现象。
连接电源与气源:根据设备要求,正确连接电源线和气源管路,确保电压和气压稳定。
启动工业电脑与控制系统:打开工业电脑,启动控制系统软件,进行系统初始化,检查各传感器、执行器等是否正常工作。
2. 物料准备与上料
3. 测试与分选
进行电性测试:利用电性测试组件,对晶圆芯片进行电性能测试,以检测其电气性能是否符合要求。
视觉检测与定位:采用CCD视觉系统对芯片进行高精度视觉定位,结合XYθ位置的快速补偿机制,确保芯片位置准确无误。
分选处理:根据测试结果和视觉检测数据,将合格的晶圆芯片与不合格的芯片进行分选处理,将不合格品送入NG料盒组件。
4. 编带作业
调整转塔机构:根据晶圆芯片的尺寸和编带要求,调整转塔机构的工位数量和旋转角度。转塔机构采用DD马达驱动,能够实现高速、精准的作业。
更换吸嘴:根据晶圆芯片的材质和尺寸,选择合适的吸嘴(如Torlon4203/橡胶吸嘴),并采用旋拧固定方式快速更换。
开始编带:启动编带组件,通过转塔机构的旋转和吸嘴的吸附作用,将晶圆芯片依次放置在载带上,并进行编带作业。此过程可能涉及加热封装或冷封等工艺步骤。
5. 下料与收料
6. 监控与维护
7. 数据记录与分析
以上是转塔式蓝膜编带机的一般运行步骤。需要注意的是,不同品牌和型号的编带机可能在具体细节上存在差异,因此在实际操作过程中应参考设备的操作手册和说明书进行操作。