随着LED技术在各领域的广泛应用，对芯片性能测试的要求日益严格。深圳市标谱半导体股份有限公司研发的全自动探针台，专为LED芯片的光电性能测试而设计，能够满足从研发到量产各环节的测试需求。该设备通过高精度运动控制和先进的视觉定位系统，实现了对微小LED芯片的精准测试，为LED制造提供了可靠的测试解决方案。

精密机械结构设计

全自动探针台的核心在于其精密的机械结构。设备采用高刚性框架设计，整体重量约900kg，确保了运行稳定性。工作台采用高精度XYθ三维调节系统，其中XY轴定位精度达到≤10μm/200mm，重复定位精度≤5μm，θ轴旋转角度范围为±19°，能够满足各类芯片的精确对位需求。

工作盘平面度控制在中心五寸≤12μm、外圈≤15μm的水平，为测试提供了稳定的基准面。Z轴提供6mm的行程空间，配合可调节±3.5mm的三维座，能够适应不同厚度芯片的测试需求。设备尺寸为1290mm×830mm×1850mm（不含三色灯），采用紧凑型设计，节省了宝贵的生产空间。

智能化测试系统

探针台配备了2组主动式探边针座，探针数量可根据需求选择2、4、8、16或20针配置，支持多芯片同步测试，大幅提高了测试效率。设备兼容3×3mil至120×120mil的芯片尺寸范围，覆盖了从微小到较大尺寸的各类LED芯片测试需求。

测试系统采用自主研发的运动控制、视觉算法和光电测试软件，形成了完整的测试解决方案。视觉定位系统能够精确识别芯片位置，配合高精度运控系统，确保探针与测试点的精准接触。设备支持4寸1.2倍扩膜工作尺寸，X轴行程210mm，Y轴行程440mm，满足不同规格晶圆的测试要求。

高效自动化操作

全自动探针台实现了测试流程的全面自动化。设备内置一体式自动上下料系统，支持7寸子母环、4寸特规小铁环和6寸DISCO铁环等多种承片治具，减少了人工干预，提高了操作效率。自动上下片设计优化了工作流程，使测试过程更加连贯高效。

设备运行稳定可靠，电源需求为220VAC（单相）50/Hz 10A，功耗控制合理。测试软件系统集成度高，操作界面友好，参数设置灵活，能够满足不同测试标准和工艺要求。系统的高集成化布局不仅提高了稳定性，还便于维护和升级。

标谱半导体全自动探针台凭借其高精度机械结构、智能化测试系统和高效自动化操作，为LED芯片测试设立了新的技术标准。设备不仅能够满足当前LED产业对高精度、高效率测试的需求，其出色的兼容性和扩展性也为未来技术发展预留了空间。对于追求测试精度和生产效率的LED制造商而言，这款全自动探针台无疑是一个值得考虑的选择。