LED芯片应用的多样化带来了测试需求的差异化,从微型显示到高功率照明,不同应用场景对芯片测试提出了各自特殊的要求。深圳市标谱半导体股份有限公司的全自动探针台,以其广泛的兼容性和灵活的配置,为各类LED芯片提供了全面的测试解决方案。该设备能够适应从研发实验室到量产线的不同测试环境,满足多样化的测试需求。
广泛的芯片兼容性
全自动探针台最显著的特点是其对不同尺寸芯片的出色兼容性。设备可测试的芯片尺寸范围从微小的3×3mil到较大的120×120mil,涵盖了当前LED产业绝大多数芯片规格。这种宽范围的兼容性使设备能够适应不同类型LED产品的测试需求,包括正装芯片、倒装芯片以及CSP LED等。
设备支持多种承片治具,包括7寸子母环、4寸特规小铁环和6寸DISCO铁环,为不同规格晶圆的测试提供了便利。工作台支持4寸1.2倍扩膜,X/Y工作行程分别达到210mm和440mm,能够适应不同尺寸晶圆的测试需求。三维座可调节±3.5mm,为特殊厚度芯片的测试提供了灵活性。
精准的测试能力
探针台的测试精度是其核心竞争力。设备XY轴定位精度≤10μm/200mm,重复定位精度≤5μm,θ轴旋转角度±19°,XY垂直度10μm,这些精密参数确保了测试的准确性。工作盘平面度控制在中心五寸≤12μm、外圈≤15μm,为测试提供了稳定的基准平台。
探针系统配置灵活,提供2、4、8、16、20针可选配置,可根据测试需求选择适当的探针数量。2组主动式探边针座设计提高了测试的稳定性和可靠性。Z轴6mm的行程空间确保了探针与芯片的良好接触。这些精密设计共同构成了设备高精度测试的基础。
智能化软件系统
全自动探针台搭载了标谱自主开发的测试软件系统,集成了运动控制、视觉算法和光电测试功能。软件系统具有高度的稳定性和可靠性,能够满足长时间连续测试的需求。视觉定位算法精确识别芯片位置,确保测试点的准确定位。
测试参数设置灵活,可根据不同芯片类型和测试要求进行定制。软件界面友好,操作简便,降低了使用门槛。系统的高集成度不仅提高了运行效率,还便于数据管理和分析,为工艺改进提供了有力支持。
标谱半导体全自动探针台以其广泛的兼容性、精准的测试能力和智能化的软件系统,成为LED芯片测试领域的多面手。设备不仅能够满足当前多样化的测试需求,其灵活的配置和强大的扩展性也为未来可能出现的新测试要求预留了空间。