标谱转塔式分选机:DD马达驱动与精准定位技术
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2026-05-18 | 12 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ | 分享到:

DD马达在分选机中的应用

标谱转塔式分选机的主转塔采用DD马达(Direct Drive Motor)直接驱动。DD马达是一种将力矩电机与负载直接耦合的驱动方式,取消了减速器、联轴器等中间传动机构。在分选机的应用场景中,DD马达的直接驱动方式使得转塔的旋转运动更加直接、响应更加迅速。

高速旋转中的稳定性

转塔式分选机的运行速度最高可达45K/H,这意味着转塔需要在高速旋转状态下持续工作。DD马达由于没有齿轮啮合的间隙和弹性变形,在高速旋转时不会产生因传动误差导致的振动和抖动。这种特性对于保持芯片在高速取放过程中的位置稳定性至关重要,也是设备能够在高速运行下仍保持≤10um重复定位精度的重要原因之一。

独立吸嘴的上下运动机制

转塔上配备的吸嘴具备独立上下运动的能力。每个吸嘴由独立的驱动机构控制,可以在转塔旋转到任意工位时根据该工位的工作节拍独立完成下降吸取芯片和上升放置芯片的动作。这种独立运动的设计避免了所有吸嘴同步动作带来的效率损失,使得转塔在旋转过程中各个工位都能并行工作。

≤10um重复定位精度的技术含义

设备的重复定位精度≤10um,这一指标反映的是吸嘴在多次重复取放同一位置时的位置偏差范围。在半导体芯片分选中,尤其是面对1.0x1.0mm这样的小尺寸芯片时,10um以内的定位精度意味着吸嘴能够准确地将芯片放置在测试探针或编带载具的指定位置上,避免因定位偏差导致的测试失败或编带错位。

运动控制卡的协同作用

DD马达和独立吸嘴的精准运动离不开运动控制卡的支持。标谱转塔式分选机采用工业计算机控制系统结合运动控制卡的架构,运动控制卡负责对DD马达的旋转角度、速度以及吸嘴的上下行程进行实时控制。通过精确的运动曲线规划,控制卡确保各运动轴在高速运行中的同步性和准确性,为整体设备的精准定位提供了控制层面的保障。