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转塔式蓝膜编带机—CCD视觉定位+微米级重复定位精度赋能晶圆芯片编带
在晶圆芯片的测试分选编带环节,贴装精度与材料保护是两大核心挑战。标谱半导体推出的转塔式蓝膜编带机,以CCD视觉定位与高精度运动平台为核心,为晶圆芯片的全自动测试、分选、编带提供了专业解决方案。
该设备采用工业电脑与运动板卡控制动作,运行稳定可靠。采用CCD视觉定位,结合XYθ位置可进行快速补偿。转塔机构采用DD马达驱动,配备多工位吸嘴,可实现高速编带需求。吸嘴采用旋拧固定方式便于快速更换
不同型号产品,兼容性高。
在核心部件方面,高精度XYθ工作平台重复定位精度可达微米级。X轴平台采用日制高精密丝杆导轨,机械刚性强,使用寿命长;Y轴采用直线电机模组驱动,具有超高精度的定位精度与长期运行的精度稳定性。蓝膜影
像采用CCD视觉定位,结合XYθ位置可进行快速补偿,有效提升晶片的贴装精度。顶针机构设有真空吸附加顶针推出,便于晶片被平稳吸取到下一个工位。多功能编带机构可以连续不断地将产品放入载带,通过编带视觉
检查相应指标后,进行盖膜热封,并卷入收带盘中,并可以根据需要自动将载带切成一定的长度。蓝膜圆盘扩模组件配置有多种尺寸可选,满足不同晶圆规格需求。设备功能丰富,标准配置包含自动上下料组件、XYθ平
台组件、WF视觉组件、顶针组件、主转盘、夹持旋转校正组件、底部视觉组件、NG料盒组件、电性测试组件及编带组件,是晶圆芯片编带领域的专业之选。
正倒装一体探针台
探针台
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