全自动探针台——XY重复定位≤5μm，测试3×3至120×120mil芯片

LED芯片测试的精度与效率，直接关系到芯片分选的准确性与最终产品的良率。标谱半导体全自动探针台，以高精度XYθ工作台和自主研发的视觉、运控、光电测试软件系统，为正装、倒装LED芯片及CSP LED的测试

提供了高集成度的解决方案。

该设备XY重复定位精度≤5μm，承片台支持7寸子母环、4寸特规小铁环和6寸DISCO铁环等多种治具。可测试芯片范围覆盖3×3mil至120×120mil，最多支持20针同步测试。在测试流程中，观察相机将探针与芯片引脚精

确对准，扫描相机对芯片逐一扫描并精准定位，确保测试位置的准确性。

设备采用内置一体式自动上下料设计，不占用额外场地。自动上下料模块具备料盒监测、取放监测、防撞保护、自动数片等多重安全防护功能，多点位料盒在位感应确保放置平整，抓手携带对射光纤实时检测载环在位情况

，挡料板与对射光纤全流程防控芯片载环超出料盒安全范围。

在自主研发方面，标谱为探针台配备了自主开发的电性测试仪、ESD测试系统、力值检测系统采集精度±0.1%、亮度采集系统精度±0.5%以及光源控制系统输出精度±1%。软件系统具备扫描判别率大于99.95%、产品参数存

档、错误信息存档记录及清针、磨针、吹针等功能。