转塔式蓝膜编带机:≤5um+12工位,晶圆芯片无损编带
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2026-09-10 | 22 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

转塔式蓝膜编带机:≤5um+12工位,晶圆芯片无损编带


晶圆芯片的全自动测试、分选、编带,对定位精度、上料方式和转塔速度都有较高要求。标谱自主研发的转塔式蓝膜编带机,

适用于晶圆芯片全自动测试、分选、编带。本机采用工业电脑+运动板卡控制动作,运行稳定可靠;采用CCD视觉定位,结合

XYθ位置可进行快速补偿,精度高;转塔机构采用DD马达驱动,12工位Torlon4203/橡胶吸嘴,可实现高速编带需求;吸嘴采

用旋拧固定方式,便于快速更换不同型号产品,兼容性高。


这款设备强调“蓝膜盘无损上料、精度高、CCD视觉定位”。XY重复定位精度≤5um,CCD视觉定位有效提升晶片的贴装精度。标

准配置包含自动上下料组件、XYθ平台组件、WF视觉组件、顶针组件、12工位主转盘、夹持旋转/校正组件、底部视觉组件、NG

料盒组件、电性测试组件、编带组件。外部结构包括报警指示灯、主转塔、急停开关、显示器、编带组件、载带圆盘;内部结构

包括胶膜框架搬运组件、XYθ平台组件、蓝膜影像组件、顶针组件、夹持校正组件1、电性测试组件、夹持校正组件2、底部视觉

组件、编带组件(倒带补料+前影像组件+封合影像组件)、溢料盒、12工位主转盘、料盒升降组件。


核心部件方面,高精度XYθ工作平台重复定位精度≤5um;X轴平台采用日制高精密丝杆导轨,机械刚性强,使用寿命长;Y轴采

用直线电机模组驱动,具有超高精度的定位精度与长期运行的精度稳定性。蓝膜影像采用CCD视觉定位,结合XYθ位置可进行快

速补偿,有效提升晶片的贴装精度。顶针机构设有真空吸附加顶针推出,便于晶片被平稳吸取到下一个工位。高速转塔机构采用

DD马达驱动,12工位Torlon4203/橡胶吸嘴,实现高精度、高速度以及高稳定的编带需求;吸嘴采用旋拧固定方式便于快速更换

不同型号产品。


多功能编带机构可以连续不断地将产品放入载带,通过编带视觉检查相应指标后,进行盖膜热封,并卷入收带盘中,并可以根据

需要自动将载带切成一定长度。特点包括编带热封、视觉检查、双轮支持倒带功能、收带盘力控、载带长度自定义等。蓝膜圆盘

扩模组件配置有5寸/6寸/8寸可选配。对于晶圆芯片编带场景,转塔式蓝膜编带机通过蓝膜无损上料、CCD视觉、DD马达转塔和

多工位编带机构,兼顾精度、速度与兼容性。


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