转塔式蓝膜编带机:5~8寸蓝膜盘可选+吸嘴快换,晶圆芯片编带换型不费时
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2026-09-29 | 196 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

转塔式蓝膜编带机:5~8寸蓝膜盘可选+吸嘴快换,晶圆芯片编带换型不费时

晶圆芯片的编带包装,换型速度快不快,直接影响小批量多品种订单的交付节奏。转塔式蓝膜编带机在"快换"上做了两处关键设计:吸嘴采用旋拧固定方式,更换不同型号产品只需旋拧操作,不必大动干戈;蓝膜圆盘扩模组件支持5寸、6寸、8寸可选配,Wafer尺寸覆盖非标6寸蓝膜圆盘、6寸蓝膜盘与8寸蓝膜圆盘(取晶范围Φ200mm),多种来料规格从容应对。

上料与取晶环节以"无损"为前提:蓝膜盘无损上料,顶针机构设有真空吸附加顶针推出,晶片被平稳吸取到下一工位,减少薄晶片在转移过程中的损伤风险。定位精度是编带质量的基础:高精度XYθ工作平台重复定位精度≤5μm,X轴平台采用日制高精密丝杆导轨,机械刚性强、使用寿命长,Y轴采用直线电机模组驱动,兼顾高定位精度与长期运行稳定性;X、Y垂直度≤8um@150mm,吸嘴定位精度≤5arc-sec。

检测与编带一气呵成:主转盘采用进口DD马达驱动,12工位Torlon4203/橡胶吸嘴,满足高精度、高速度、高稳定的编带需求;标准配置包含蓝膜影像组件、XYθ平台组件、顶针组件、夹持旋转/校正组件、底部视觉组件、电性测试组件、NG料盒组件及编带组件,CCD视觉定位结合XYθ位置可快速补偿,有效提升晶片贴装精度。

多功能编带机构支持热封、视觉检查、双轮倒带补料、收带盘力控与载带长度自定义,产能对于3.5mm×3.5mm产品≥15K;适用载带8mm~12mm宽,封带方式为反复热压式。整机功率3kVA、约1000Kg。从取晶到编带,一台设备把精度、换型与自动化都安排明白了。



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