MIP排片机:XY贴装±0.03mm+VF分档±0.03V,MiP贴片精度不将就
来源: | 作者:标谱半导体 | 发布时间: 2026-10-13 | 8 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

 

MIP排片机:XY贴装±0.03mm+VF分档±0.03V,MiP贴片精度不将就

MiP sensor的排片工序,精度是双重考量的:既要贴得准,把材料放到wafer上正确的位置;又要测得准,电性参数分档不能含糊。位置偏一点,后道贴合就有风险;电性判错一点,整颗器件的性能就要打折。

MiP排片机是为了MiP sensor的点测分选工艺而开发的wafer贴装设备,目标很明确:实现自动化,减少人员贴胶等操作、降低不良风险、减少搬运并提升效率。设备采用高精度、高速度、高耐久的进口DD马达和专用伺服驱动器、控制器及专用软件,集自动上料、视觉检查、电性测试、产品贴wafer功能于一体。

生产流程与贴装精度是这样配合的:散装材料通过振盘排列上料,经过视觉判别、旋转校正、电性测试、NG品排料、校正定位,最后把OK产品精准贴装到wafer上。贴装精度XY为±0.03mm,贴装范围为方形80mm×80mm、圆形φ100mm,大小wafer都能对应。

电性分档精度的意义同样直接。电性测试的正向电压精度为±0.03V,反向电压精度为±0.5V——分档依据的参数本身测得稳,分出来的档才靠得住。料盒采用6寸(205×205×1.2mm)外方内圆铁环,适配25层提篮;设备速度不低于40K/H,实际速度受产品尺寸影响,设备良率不低于99.5%。

上料机构配置离子风扇和自动加料装置,具备上下面尺寸和外观检测功能,检测到不良即排除;晶圆环自动换料,避免频繁人工操作。整机功率1KW、重量1000Kg、外形1300×1300×2150mm。贴得准、测得准、料换得勤,MiP排片这道工序才算真正交给设备。


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