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转塔式蓝膜编带机:双轮倒带配收带盘力控,载带长度按需自定义
晶圆编带有两个容易被忽略的细节:一是收带盘的张力,张力不稳,载带会松紧不匀,客户上贴片机时容易卡带;二是盘尾的余料,编到最后一截料不够一盘,要么整盘报废,要么人工去倒带拼接。这些都属于编带机构本身的设计功力。
转塔式蓝膜编带机由标谱自主研发,适用于晶圆芯片的全自动测试、分选、编带。本机采用工业电脑加运动板卡控制动作,运行稳定可靠;采用CCD视觉定位,结合XYθ位置进行快速补偿,精度高;标准配置包含自动上下料组件、XYθ平台组件、WF视觉组件、顶针组件、12工位主转盘、夹持旋转校正组件、底部视觉组件、NG料盒组件、电性测试组件与编带组件。
多功能编带机构是这台设备的差异点。该组件可连续不断地将产品放入载带,通过编带视觉检查相应指标后进行盖膜热封,并卷入收带盘中,还能根据需要对载带自动切成一定长度。它的特点包括编带热封、视觉检查、双轮支持倒带功能、收带盘力控、载带长度自定义——盘尾余料可倒带处理,收带张力由力控保证,成盘长度不必迁就固定规格。
传料精度的底座也够扎实:主转塔采用进口DD马达驱动,12工位配Torlon4203或橡胶吸嘴,吸嘴为旋拧固定方式,换型号产品时可以快速更换;吸嘴定位精度不大于5 arc-sec,X、Y、Z重复定位精度不大于5um;XYθ工作平台重复定位精度不大于5um,X轴采用日制高精密丝杆导轨,Y轴采用直线电机模组。
上料与产能方面,设备采用蓝膜盘上料,蓝膜盘无损上料配合顶针机构的真空吸附加顶针推出,晶片被平稳吸取到下一工位;蓝膜圆盘扩模组件可选5寸、6寸、8寸,晶圆工作行程X=220mm、Y=310mm,弹夹可实现-180°至180°旋转;对于3.5mm×3.5mm产品,产能不低于15K。整机气源0.5至0.7MPa、50L/min,功率3kVA、重量1000Kg、外形1200×1250×1800mm。
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探针台
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