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MIP排片机:6寸晶圆环自动换料+25层提篮适配,40K/H贴片少停机
MiP sensor的点测分选工序里,最耗人的环节不是测试,而是换料。料盒满了要换、晶圆环转完了要换,人工频繁介入既拖效率,也把搬运与贴胶的损伤风险带进流程。设备自动化程度高不高,先看它能不能把换料这件事自己接过去。
MiP排片机正是为MiP sensor的点测分选工艺开发的,目的很明确:实现自动化,减少人员贴胶等操作、降低不良风险、减少搬运并提升效率。散装材料通过振盘排列上料,经过视觉判别、旋转校正、电性测试、NG品排料、校正定位,最后把OK产品精准贴装到wafer上。整条流程从散料进、晶圆出,中间不需要人工转运。
自动换料与料盒适配是这台设备的核心卖点。设备具备晶圆环自动换料功能,避免频繁人工操作,实现高自动化;料盒采用6寸(205×205×1.2mm)外方内圆铁环,适配25层提篮,客户现有的晶圆环规格基本可以直接对上。贴装范围覆盖方形80mm×80mm与圆形直径100mm,大小晶圆都能排。
精度与良率方面,贴装精度XY为±0.03mm,正向电压±0.03V、反向电压±0.5V,设备良率不低于99.5%,运行速度不低于40K/H(产品尺寸大小会影响速度)。设备采用高精度、高速度、高耐久的进口DD马达和专用伺服驱动器、控制器及专用软件,转塔由进口DD马达驱动,吸嘴真空吸取材料;测试站支持底部视觉检测材料方向和焊盘缺陷,并支持电性检测、NG排料与极性旋转。
材料保护也落在细节里:上料机构配置离子风扇和自动加料装置,并具备上下面尺寸和外观检测功能,检测到不良立即排除,不让问题件流到贴装环节;晶圆环自动换料又进一步减少了人工接触。整机重量1000Kg、功率1KW。把换料这件小事交给设备,40K/H的节拍才算真正跑得起来。
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